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Bump 3D檢測係統是半導體及電子製造領域的高精度檢測設備,核心優勢在於亞微米至納米級測量精度。它依托多光束共聚焦技術,可精準捕捉 Bump 高度、直徑、共麵性等關鍵參數,高效識別各類缺陷。設備適配 2-12 英寸晶圓及多種基板,廣泛應用於半導體封裝、SMT 等場景,以超高精度為精密製造質量管控提供可靠保障。
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