微米級懸浮微粒可視化檢測係統的核心在於利用顆粒物對特定光場的散射效應，並結合高動態範圍（HDR）成像技術。

●高強度非激光散射光源技術

不同於存在視網膜損傷風險的高功率 4 類（Class 4）激光，本係統采用了經過精密光路設計的高強度、指向性麵光源。該光源在工作區形成一個具有對比度的均勻光幕（Light Curtain）。當微粒經過該光幕時，會產生強烈的米氏散射（Mie Scattering）光信號。

技術優勢： 安全性高，無需特殊護目鏡；光場覆蓋麵積大，適合大範圍空間排查。

●亞微米級顆粒捕獲成像算法

係統配備了高靈敏度圖像傳感器和專用的深度圖像增強處理器。核心算法能實時從複雜的背景噪聲中提取微弱的散射光信號，並對 0.1um-100um的顆粒進行動態增強和放大成像。

模式切換： 係統提供“標準模式"、“增強模式"和“軌跡追蹤模式"等多種視覺模式，滿足不同靈敏度和動態範圍的需求。

●小型化、輕量化探頭設計

為了適應現代化精密加工裝置（如晶圓傳輸盒 FOUP、EFEM、機械臂關節）內部極其局促的空間，係統的核心探測和照射模組采用了的小型化設計。

物理特性： 探頭體積小巧，重量輕，支持手持排查或集成在機械手臂上進行動態檢測。

●微粒目視化：將 0.1um的懸浮顆粒物轉化為人眼可見的實時圖像。

●汙染溯源：直觀展示顆粒運動軌跡，快速鎖定發塵源頭（如摩擦、漏氣、靜電吸附等）。

●氣流場驗證：驗證潔淨室層流（Laminar Flow）的穩定性，排查由於設備阻擋形成的渦流積塵區。

●數字存檔與分析：支持錄製高動態視頻，用於後續的技術分析、SOP 培訓或質量事故溯源。

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